10.3969/j.issn.1004-4507.2022.04.010
基于PROFINET控制的金刚线多线切割机硬件系统分析与研究
介绍了一种碳化硅晶片加工用多线切割机控制系统及硬件设计方案,采用工业以太网的集成和一体化的自动控制代替传统的现场总线系统控制,基于PROFINET控制系统,配合S120伺服控制高响应速度和同步性,使设备的兼容性、开放性、响应速度、设备诊断和维护性等得到很大提升,而且提高了多线切割机切片的稳定性,降低了线丝断线的几率.
碳化硅(SiC)、金刚石多线切割机、工业以太网技术(PROFINET)、总线控制
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TN305(半导体技术)
2022-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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