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10.3969/j.issn.1004-4507.2022.03.014

喷雾涂胶机旋转主轴动态特性研究

引用
旋转主轴作为喷雾涂胶机的关键部件,其性能的优劣直接影响着光刻胶的喷涂质量.根据工艺要求提出了喷雾涂胶机旋转主轴的主要技术指标,建立了旋转主轴的三维模型,利用有限元软件ANSYS对旋转主轴进行了动态特性分析,验证了结构设计的合理性,为旋转主轴的开发设计提供了理论基础.

喷雾涂胶机、旋转主轴、动态特性、有限元分析

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TH133

2022-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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1004-4507

62-1077/TN

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2022,51(3)

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