10.3969/j.issn.1004-4507.2022.03.009
油气润滑在脆硬材料多线切割设备中的应用
针对半导体脆硬材料的切割加工成为多线切割设备发展的突出因素,通过与传统多线切割设备轴系比对分析,设计了适合碳化硅等脆硬材料切割加工设备轴系的油气润滑方式.通过实验比对得出使用油气润滑提升了多线切割设备的工艺优越性及精密性.
油气润滑、脆硬材料、多线切割
51
TN305.1(半导体技术)
2022-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
43-47
10.3969/j.issn.1004-4507.2022.03.009
油气润滑、脆硬材料、多线切割
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TN305.1(半导体技术)
2022-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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