10.3969/j.issn.1004-4507.2022.03.007
CMP抛光工作台冷却系统研究
通过建立抛光工作台的循环冷却水系统,创建了抛光工作台4种不同的循环路径模型;根据温度场的有限元法和流体动力学原理,应用Ansys-Fluent对抛光工作台4种不同循环水路的速度场和温度场进行仿真分析,并对仿真结果分析对比得出了冷却水最优循环路径.
CMP抛光工作台、循环冷却水系统、温度场、最优循环路径
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TN305(半导体技术)
2022-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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