10.3969/j.issn.1004-4507.2022.02.015
一种载片刚性转架的动平衡校准探析
旋转冲洗甩干机是半导体湿法清洗工艺中的主流设备之一,其关键技术之一,是如何克服该设备中载片刚性转架在高速旋转时产生的振动,从而引发盒装晶圆片在冲洗、干燥工艺流程中易出现碎片、干燥不彻底等现象,为此,对载片刚性转架结构的构建、转动不平衡修正、动平衡验证等方面进行分析探究.
旋转冲洗甩干、刚性、转架、动平衡
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TN305(半导体技术)
2022-07-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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