10.3969/j.issn.1004-4507.2022.02.012
基于倒装键合设备的准直调平系统研究
针对自行研制的倒装键合设备,建立了基于视觉的调平系统,运用自准直原理设计了调平光路,同时结合图像识别技术及算法对键合面的状态实时观察,并通过调节高精度机构实现键合面的平行度调节.结果表明,准直调平系统的研制对键合效果的提升有很好的促进作用.
倒装键合设备、自准直原理、准直调平系统
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TN305.93(半导体技术)
2022-07-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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