10.3969/j.issn.1004-4507.2022.02.005
环抛机薄片工件可调式承载器的设计与制造
针对环抛机研抛薄片工件装载卸载存在的问题,设计一种适用于环抛机便于操作的薄片工件可调式承载器,实现薄片工件快速装卸,并采用3D打印技术试制.结果表明:与石蜡粘结方式相比,可调式承载器的结构简单,操作便捷,提高加工辅助效率的同时能保证装载可靠性;选用PLA塑料制造,质量轻同时硬度适中,有利于研磨抛光加工的精确加载和表面质量提升;3D打印技术试制效率高,质量好,制备成本低.
研磨抛光、薄片晶体、可调式承载器
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TN305(半导体技术)
江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目
2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
17-22
