10.3969/j.issn.1004-4507.2022.01.012
伺服运动控制工作台精度误差分析
以XY轴十字叠加伺服运动控制工作台为例,通过观测误差现象,从电气控制系统方面分析位置式数字PID控制器的精度误差产生原因,并提出减小误差的方法和验证方法.从工作台机械系统方面,分析精度误差产生原因,提出设计和选型标准.通过几方面的技术改进提高伺服运动控制工作台的定位精度、重复精度.
伺服控制、XY工作台、定位精度误差、重复精度误差
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TN305(半导体技术)
2022-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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