10.3969/j.issn.1004-4507.2021.04.001
基于改进蜂群PID算法的高速摆臂机构抑振研究
频繁短行程启停的摆臂机构在点对点高速定位过程中,由于外部干扰、机械共振模态等非线性特征不同程度地影响系统的伺服性能,极易引起系统的谐振,降低封装设备芯片键合的效率等问题.针对以上问题,提出一种基于交叉全局的人工蜂群PID算法,用于抑制负载末端机械谐振.通过建立电机——负载双惯量模型,理论分析谐振形成原理和对伺服系统的影响,实验结果表明负载末端谐振得到了有效地控制,定位效率提高了9.1％,并验证了算法仿真结果的有效性.
摆臂机构;双惯量模型;交叉人工蜂群PID;谐振抑制
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TN305(半导体技术)
2021-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
1-6,18
