10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.011
真空共晶炉的改进与提升
介绍了真空共晶炉,通过热仿真分析得出提高真空共晶炉温度均匀性的方法,对真空共晶炉进行改进,提高了设备的温度均匀性和冷却速率,并对改进后的设备进行了测试,测试结果满足了设计的要求.
真空共晶炉、温度均匀性、冷却速率、热仿真分析
50
TN305(半导体技术)
2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
54-59
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10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.011
真空共晶炉、温度均匀性、冷却速率、热仿真分析
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TN305(半导体技术)
2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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