10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.007
Micro-LED显示器量化生产关键技术
为快速推动Micro-LED显示器产业化发展,结合Micro-LED微显示器的性能特点、制造工艺流程和产品应用优势,重点分析了基于硅/蓝宝石衬底的GaN外延生长技术、芯片侧壁原子层沉积技术、芯片转移和晶圆级键合等技术.通过显示产业材料、工艺设备、芯片制造、终端应用全产业链的上下游协同创新,快速突破Micro-LED量化生产关键技术,必将提升Micro-LED的产业化技术能力,带来新一轮显示技术升级换代.
新型平板显示、微缩化发光二极管、有机化合物化学气相沉积、原子层淀积、晶圆键合
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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