10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.002
基于仿真分析的设备微环境控制技术
论述了一种基于仿真分析的半导体设备内部空间气流路径、紊流位置、各分区风压的闭环反馈系统及结构,目的在于使设备能够自动净化内部空间气体,防止颗粒凝结,从而达到控制并改善半导体设备内部微环境的目的.
集成电路、芯片、微环境、CMP工艺
50
TN305.2(半导体技术)
2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
8-11
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10.3969/j.issn.1004-4507.2021.03.002
集成电路、芯片、微环境、CMP工艺
50
TN305.2(半导体技术)
2021-07-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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