10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.012
晶圆级微波测试工艺研究
从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望.
微波探针台、晶圆级测试、电磁屏蔽
50
TN307(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
46-51
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10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.012
微波探针台、晶圆级测试、电磁屏蔽
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TN307(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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