10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.010
CMP在线光学终点检测算法研究及应用
介绍了化学机械抛光(CMP)中表面膜层为金属和非金属晶圆的在线终点检测原理.研究了窗口检测算法,实时检测光强变化趋势,抓取趋势特征点,从控制抛光过程,实现CMP在线终点检测.实验结果表明,检测算法可达到预期的检测精度,能够满足生产实际需要.
化学机械抛光、在线终点检测、窗口检测、算法、特征点
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TN305.2(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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