10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.005
离子注入机分析器模型的自动调束控制方法
采用系统辨识方法获得离子注入机分析器精确模型,然后将系统模型作为分析器控制器的前馈控制,提前预测控制输出,提高控制器的响应速度,并在此基础上增加反馈控制通道,用来修正模型误差和外界干扰.最后,将此控制方法应用于CIP300型离子注入机研发,自动调束的效率和成功率都有较大提升.
离子注入机、质量分析器、磁场测量与校准、自动调束
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TN305.3(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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