10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.002
线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究
微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法.基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——线形同轴微波等离子体系统进行了仿真分析,获得了该系统等离子体源的空间分布规律,为设备设计的进一步优化提供技术指导.
线形同轴耦合微波等离子体、电子密度、真空腔体、平板式PECVD设备
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TN304.055(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
5-7,45
