10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.001
基于模糊PID控制的晶圆精密磨削控制系统
根据晶圆自旋转磨削的特点,建立了基于模糊PID控制的精密磨削控制系统,该系统主要是通过模糊PID的方法调节磨削进给速度,以实现磨削时对磨削力的控制,并与普通模式进行了实验对比.实验结果表明,基于模糊PID控制算法的精磨磨削能够获得更稳定的磨削力和更高的磨削效率.
精密磨削、进给速度、磨削功率、磨削力、模糊控制
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TN305(半导体技术)
2021-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
1-4,56
