10.3969/j.issn.1004-4507.2021.01.016
从概念到批量生产升级MEMS制造 ——泛林集团开发的先进工艺解决晶圆制造领域难题,满足MEMS器件市场的强劲需求
长期以来,电脑、手机以及一些汽车应用一直是推动半导体器件增长的动力.这些传统市场的发展也在加速催化对各种相关新应用的需求,包括人工智能(AI)、虚拟现实(VR)、增强现实(AR)、机器人技术、医疗传感器以及更先进的汽车电子产品,而以上各种应用的发展又刺激了对各类半导体的需求,包括逻辑芯片、控制IC、图像传感器以及MEMS组件.
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2021-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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