10.3969/j.issn.1004-4507.2020.06.004
离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究
介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘.构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算.
离子注入机、静电夹持、晶圆温度值分析
49
TN305.3(半导体技术)
2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
13-16
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10.3969/j.issn.1004-4507.2020.06.004
离子注入机、静电夹持、晶圆温度值分析
49
TN305.3(半导体技术)
2021-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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