KLA针对先进封装发布增强系统组合新设备采用AI解决方案以提高良率和质量并推动半导体封装创新
KLA公司宣布推出KronosTM 1190晶圆级封装检测系统、ICOSTM F160XP芯片分拣和检测系统以及下一代的ICOSTM T3 / T7系列封装集成电路(IC)组件检测及量测系统.这些新系统具有更高的灵敏度和产量,并包含下一代增强算法,旨在应对特征尺寸缩小、3D结构和异构集成所带来的复杂性,从而在封装阶段推进半导体元件制造.凭借更可靠地实施这些先进封装技术,KLA的客户将无需依赖缩小硅设计节点就能够提高产品性能.该产品组合的性能提升将提供良率和质量保证,帮助客户进一步拓展其技术和成本蓝图.
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2020-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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