KLA推出全新突破性的电子束缺陷检测系统
近日,KLA公司(纳斯达克股票代码:KLAC)宣布推出革命性的eSL10TM电子束图案化晶圆缺陷检查系统.该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷,从而加速了高性能逻辑和存储芯片的上市时间”包括那些依赖于极端紫外线(EUV)光刻技术的芯片”.
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2020-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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