10.3969/j.issn.1004-4507.2020.03.010
光刻机平边定位原理简析及找平边模块改造
论述了NIKON i12D(type3)光刻机平边定位工作原理,并以NIKON i12D(type3)光刻机为基础,通过对找平边传感模块的硬件和电路改造,实现了对GaN晶圆平边的有效识别.测试结果表明,成功率高,稳定性好;减少了不必要的生产流程,提高了生产效率.
光刻机、平边定位、找平边模块、改造、GaN晶圆
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TN305(半导体技术)
2020-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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