10.3969/j.issn.1004-4507.2020.03.008
光刻机多体动力学建模方法研究
对虚拟样机技术的建模工具进行调研,最终选择SimMechanics工具箱作为光刻机动力学建模工具.用拉格朗日方法推导出多刚体系统动力学方程,并在原有商业软件的基础上进行二次开发,满足光刻机多体动力学建模的需求.
光刻机、动力学、仿真模型
49
TN305(半导体技术)
2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
31-34
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10.3969/j.issn.1004-4507.2020.03.008
光刻机、动力学、仿真模型
49
TN305(半导体技术)
2020-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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