10.3969/j.issn.1004-4507.2020.02.007
石英MEMS传感器湿法刻蚀工艺及设备制造技术研究
简要介绍了石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺,着重阐述了石英晶体各向异性刻蚀机理及湿法刻蚀工艺技术,针对影响湿法刻蚀石英晶体形貌结构的溶液浓度、溶液流场、反应气泡等因素,结合设备制造安全性重点论述了湿法刻蚀设备整机结构技术、溶液浓度控制技术、晶片转动控制技术等设备制造关键技术.
石英MEMS传感器、石英晶体、各向异性湿法刻蚀
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TN305.7(半导体技术)
2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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