10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.014
基于实时工业以太网的晶圆清洗设备控制系统设计
介绍了实时工业以太网的发展历程;对EtherCAT和TwinCAT在硬件拓扑及底层逻辑应用方面进行了分析研究;在硬件上根据接口特性设计了拓扑结构,在软件方面设计了底层逻辑程序模块,并根据底层接口提供了上位机人机界面的设计方法.
以太网、以太网控制自动化技术、控制系统
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TN305(半导体技术)
2020-06-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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