10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.013
蒸发台e型电子枪的工作原理与维修技术
真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护.从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各类故障,给出了处理方法和步骤.
电子枪、镀膜、蒸发台
49
TN305(半导体技术)
2020-06-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
58-62
10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.013
电子枪、镀膜、蒸发台
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TN305(半导体技术)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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