10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.003
扫描投影光刻机电气安全诊断系统的设计与实现
针对扫描投影光刻机电气安全互锁与智能诊断需求,设计了一套数据采集与监视控制系统.该系统以安全处理盒作为主要电气硬件结构,以倍福嵌入式工业PC作为主站,PLC I/O模块配置从站,采用GENESIS64组态监控软件、EtherCAT现场总线与OPC标准协议,实现了光刻机在整机控制层面上的电气安全设计以及实时诊断,为光刻机的安全运行提供了智能决策与可靠保障.
光刻机、安全与诊断、以太网控制自动化技术、用于过程控制的对象连接和嵌入
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TN305.7(半导体技术)
2020-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
15-19,49
