10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.002
铜线键合设备焊接一致性探索
相对于传统金线键合,铜线键合设备焊接过程工艺窗口更小,对焊接的一致性要求更高.通过对铜线键合工艺窗口的影响因素进行分析,探索了设备焊接过程的影响和提升办法,为铜线键合技术的推广应用提供技术指导.
铜线键合、工艺窗口、一致性
49
TN405.96(微电子学、集成电路(IC))
2020-06-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
11-14,35
10.3969/j.issn.1004-4507.2020.01.002
铜线键合、工艺窗口、一致性
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TN405.96(微电子学、集成电路(IC))
2020-06-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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