10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.005
直线电机在半导体设备中的典型应用分析
随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析.
直线电机、半导体设备、原理、应用分析
48
TP23(自动化技术及设备)
2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
16-19
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10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.005
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48
TP23(自动化技术及设备)
2019-07-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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