10.3969/j.issn.1004-4507.2019.01.006
GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用
根据Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (简称GEM) 通讯协议的要求, 分析了子状态、状态要求、状态转换的条件、触发状态转换的模块等;根据上述不同内容, 选择不同的消息传递路径, 最终实现GEM状态的转换, 为设备端和主机端的交互提供了基本条件.
化学机械抛光、工厂设备通信与控制通用标准、状态转换
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TN305.2(半导体技术)
2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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