10.3969/j.issn.1004-4507.2019.01.002
太阳能电池片硼源扩散综述
对国内近十年来硼扩散技术的进展进行了介绍, 引用不同科研人员的研究成果说明以下结论:采用旋涂SiO2纳米浆料作为硼源, 能够改善太阳能电池片扩散区域方块电阻的均匀性, 粒径越小, 均匀性越好;改善管内进气方式, 增大硼源进气口距离太阳能电池片的距离, 能够改善太阳能电池片扩散区域方块电阻的均匀性;在BBr3液态源高温扩散过程中引入二氯乙烯, 能够提高硼扩散的片内均匀性和片间均匀性.
太阳能电池片、硼源、均匀性、扩散
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TN305.4(半导体技术)
2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
8-10,62
