10.3969/j.issn.1004-4507.2018.06.004
荏原AAS100WN真空泵自主维护
PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因.依据多年维修经验,编写了真空泵组自主维护工作流程与维护方法.维修后真空泵组可以稳定运行接近10000h.
自主维护、螺杆泵、主轴抱死、动平衡
TB752(真空技术)
2019-08-06(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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