10.3969/j.issn.1004-4507.2018.03.017
双位组合四探针法与常规四探针法的对比研究
论述了用四探针法测量半导体片电阻率的基本原理及优缺点.在常规四探针法的缺点是:所使用的探针头的探针间距应相等,对探针的游移率要求严格;材料的几何尺寸与探针间距相比应满足半无穷大.当上述条件不能满足,我们可以使用双位组合四探针法进行测量.我们对双位四探针法与常规四探针法进行了对比分析,并探讨了产生不同结果的根源.
电阻率、厚度修正、四探针法
TN606(电子元件、组件)
2018-06-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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