10.3969/j.issn.1004-4507.2018.03.010
离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究
展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析.仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力.
离子注入机、低能、减速、能量污染
TN305.3(半导体技术)
2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
35-39
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10.3969/j.issn.1004-4507.2018.03.010
离子注入机、低能、减速、能量污染
TN305.3(半导体技术)
2018-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
35-39
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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