10.3969/j.issn.1004-4507.2017.05.006
多晶硅铸锭红外探伤阴影问题浅析
太阳能光伏产业多晶硅片大多来源于定向凝固多晶铸锭方法.定向凝固多晶硅锭中心区硅棒底部常出现阴影区域,对多晶硅锭的品质及铸锭得料率有一定的影响.经实验研究分析,中心硅锭底部出现阴影的原因是在晶体生长初期,打开隔热笼,边角长晶速度相对比中心长晶速度快,固液界面呈"凹"状,熔体中杂质在硅锭中心底部沉积,造成硅锭红外探伤图上出现阴影.通过多晶铸锭炉热场结构的改进及工艺的优化,使得晶体生长初期边角长晶速度变慢,固液界面的"凹"度变小,甚至使固液界面变平或微"凸",底部杂质向硅锭四周扩散,可消除多晶硅锭中心区硅棒阴影.
定向凝固、阴影、固液界面、铸造多晶硅
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TN305(半导体技术)
2017-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
26-28,51
