10.3969/j.issn.1004-4507.2017.02.008
工业视觉机器人在单晶硅电池片PVD工艺中的应用
介绍了单晶硅电池片物理气相沉积(PVD)工序封装解决方案及工艺流程.通过设计基于视觉技术的SCARA工业机器人系统,实现了封装流程的自动化,解决了人工封装过程效率低、成本高、容易污染硅片的问题.并对该系统进行了分析优化,给出了提高精度、速度的优化方案.
单晶硅电池片、PVD工艺、工业视觉机器人
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TP242.2(自动化技术及设备)
2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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