10.3969/j.issn.1004-4507.2017.02.001
微焦点X射线数字成像系统的最佳分辨率
根据微焦点X射线数字成像检测系统在半导体行业中实际应用的要求,通过推导得出微焦点X射线数字成像检测系统的分辨率与放大倍数的数据关系式,并带入到实际的检测系统中,绘制出了系统分辨率与放大倍数关系曲线;通过曲线说明了应用在半导体行业的微焦点X射线数字成像检测系统,在一定放大倍数范围内,系统具有最佳分辨率,并通过实验的数据与理论值对比,验证了结论的正确性.
微焦点X射线、最佳分辨率、放大倍数
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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