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10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.009

电子制造中X射线检测系统中的放大倍数

引用
根据电子工业中应用微焦点X射线数字成像检测的BGA指标,结合美国材料与试验协会给出的缺欠与像素的关系,应用数学模型推导出最小的检测放大倍数,对使用此类设备进行检测时工艺卡的编写起到了辅助作用;同时通过关系曲线,说明在电子工业中当检测需求有规定最小可分辨尺寸时,微焦点X射线数字成像检测设备的放大倍数有着最小放大倍数.

微焦点X射线、放大倍数、数字成像

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TN405(微电子学、集成电路(IC))

2017-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

46

2017,46(1)

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