10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.008
一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理
在湿法腐蚀清洗设备工艺过程中,使用盐酸和磷酸腐蚀表面材料为磷化铟的晶圆片,会产生一种有毒性的特异气体;针对这种特异气体,设计了一种对反应腔体内、设备内及室内的气体监测处理系统.
腐蚀清洗、特异气体、监测处理
46
TN305(半导体技术)
2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
28-30
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10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.008
腐蚀清洗、特异气体、监测处理
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TN305(半导体技术)
2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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