10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.006
ULVAC IH-860DSIC注入机系统解析
介绍ULVAC IH-860DSI注入机系统的特点及其原理,在介绍其设备的基础上,着重分析这款注入机系统几个重要和特别的组成部分.根据多年的注入机设备维护经验,总结归纳ULVAC IH-860DSI注入机系统的优点和缺点.
离子注入、离子源、离子源加热静电吸盘、法拉第系统
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TN305.7(半导体技术)
2017-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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