10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.005
基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究
详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态.
扫描电镜、光学系统、合轴
46
TN206(光电子技术、激光技术)
2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
14-18
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10.3969/j.issn.1004-4507.2017.01.005
扫描电镜、光学系统、合轴
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TN206(光电子技术、激光技术)
2017-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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