10.3969/j.issn.1004-4507.2016.12.008
ADT 7100砂轮划片机工作台与刀盘座的参数分析
对于金刚石砂轮划片机,工作台与刀盘座的质量和它们之间定位对划片质量有着重要的影响.基于以色列ADT公司的产品ADT7100划片机,介绍了工作台的平面度、刀盘端面的跳动误差以及刀盘端面与X轴的平行度等参数,分析了这些参数对划片质量和砂轮刀的影响;并结合实际,提出了针对这些参数的测量方法和超过标准的解决方法.
划片机、工作台、刀盘座
45
TN305(半导体技术)
2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
34-38
