10.3969/j.issn.1004-4507.2016.12.007
伺服控制油压技术应用于半导体塑封压机
早期半导体塑封压机均是采用异步电机和定量泵组合,通过比例阀控制压力、流量输出,发展中期塑封压机采用过变频技术,但是控制精度均未得到提高,现在采用伺服控制液压技术,直接控制伺服电机输出,采用压力和电机速度双反馈,提升控制输出精度.
伺服控制、双闭环、高精度、节能
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TM383.4(电机)
2017-02-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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