10.3969/j.issn.1004-4507.2016.07.005
硅片上下料设备中精度公差对稳定性影响的分析
主要阐述了生产过程中硅片自动化上下料设备的设计精度、装配精度对设备稳定性的影响情况;具体分析了单个机构的精度、公差,机构之间的公差在生产中的影响;总结了相关机构应遵循的精度、公差要求;对其他自动化设备如石墨舟上下料、石英舟上下料设备的研制与提高稳定性、可靠性也有借鉴、指导作用.
硅片自动化设备、精度、公差、稳定性
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TN948.43
2016-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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