10.3969/j.issn.1004-4507.2016.06.007
磷化铟晶体缺陷的检测
通过采用不同的腐蚀液对磷化铟晶片进行腐蚀,使磷化铟晶片的各种缺陷能够清晰的显示并加以区别。在位错密度的测试过程中,综合了位错密度的计数方法,较真实地反映了磷化铟单晶片的位错状况。
磷化铟、腐蚀液、位错
TN304.2(半导体技术)
2016-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
29-31
10.3969/j.issn.1004-4507.2016.06.007
磷化铟、腐蚀液、位错
TN304.2(半导体技术)
2016-07-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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