10.3969/j.issn.1004-4507.2015.12.003
全自动高温湿法刻蚀设备的研制
介绍了高温湿法刻蚀设备在LED芯片制造中图形化衬底制备工艺(PSS)及激光正切后侧边腐蚀工艺两方面的应用;论述了高温强酸刻蚀湿法设备组成、结构及单元模块的功能.
图形化衬底、侧边腐蚀、干法刻蚀、湿法刻蚀
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TN305.7(半导体技术)
2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
8-12
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10.3969/j.issn.1004-4507.2015.12.003
图形化衬底、侧边腐蚀、干法刻蚀、湿法刻蚀
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TN305.7(半导体技术)
2016-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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