10.3969/j.issn.1004-4507.2015.11.013
半导体专用设备的电气控制柜设计研究
对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等.对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用.
专用设备、控制柜、原理与接线图、人机工程
44
TN705(基本电子电路)
2015-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
50-56
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10.3969/j.issn.1004-4507.2015.11.013
专用设备、控制柜、原理与接线图、人机工程
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TN705(基本电子电路)
2015-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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