10.3969/j.issn.1004-4507.2015.10.006
PG-300去应力抛光系统的结构设计与优化
介绍了集成于减薄抛光一体机中的PG-300去应力抛光系统的主要结构及技术特点,主要包括抛光头主轴部分的正向设计,论述了花键轴的安装结构及调平方法,导向轴的设计安装等.并通过运用有限元软件对该抛光头机架进行受载情况仿真,消除了抛光过程中结构变形对抛光效果的影响,进而在理论和实践两个方面确定了该机架已达到设计要求.
集成电路制造设备、去应力抛光、主轴、机架
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TN305.2(半导体技术)
2015-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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