10.3969/j.issn.1004-4507.2015.08.007
超声波清洗在IC电镀设备中的应用研究
介绍了超声波清洗的原理,通过研究超声波清洗的特性和对产品表面的损伤,结合IC电镀中的实际问题,总结出超声波清洗的使用条件和实际使用中所具备的优势,为电镀设备的设计和实际使用提供参考.
超声波清洗、原理、电镀设备
44
TN305.97(半导体技术)
2015-09-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
30-32,41
10.3969/j.issn.1004-4507.2015.08.007
超声波清洗、原理、电镀设备
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TN305.97(半导体技术)
2015-09-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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