10.3969/j.issn.1004-4507.2015.06.010
f-θ扫描物镜设计与研究
以初级像差理论为基础,借助ZEM A X 光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜.
半导体设备、f-θ透镜、线性、负畸变
TN305.7(半导体技术)
2015-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
45-50
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10.3969/j.issn.1004-4507.2015.06.010
半导体设备、f-θ透镜、线性、负畸变
TN305.7(半导体技术)
2015-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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